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高纯气体泄漏时，应立即停止使用，并及时通知相关部门进行处理。在等待人员到达之前，应尽量将泄漏区域隔离，避免进一步扩散。同时，应避免直接接触泄漏的气体，以防对人体造成伤害。如果泄漏的气体是有毒有害的，应佩戴适当的防护设备，如呼吸器、防护眼镜等。在处理泄漏时，应遵循相应的安全操作规程，确保自身和他人的安全。
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